一种光学加速度传感器及加速度传感器系统

2021-03-27 17:53
传感器世界 2021年6期
关键词:布拉格光栅传导

申请号:202110107185.6

【公开号】CN112782424A

【公开日】2021.05.11

【分类号】G01P15/03

【申请日】2021.01.27

【申请人】宁波正业自动化科技有限公司

【发明人】吴迅奇;朱洁琼

【摘 要】本发明提供了一种光学加速度传感器及加速度传感器系统,所述光学加速度传感器包括:传导光纤,其内部传导光波;半导体结构,其上刻蚀布拉格光栅,且与所述传导光纤对准,对射入的光波进行调制后反射回所述传导光纤;振动组件,其与所述半导体结构连接,感应被测物体的振动并传递给所述布拉格光栅。这样,将半导体结构和传导光纤分离开来设置,需要封装的时候,直接对半导体结构进行封装,解决了光纤弯曲半径过小,封装成传感器尺寸过大的问题;另外,半导体结构更为稳固,所以解决了布拉格光纤光栅易脆易断,无法测量高频振动信号的问题。

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