新型无漏电纳米线桥接生长技术解决传感器材料稳定性问题

2019-08-07 06:10:06
传感器世界 2019年5期
关键词:高灵敏度桥接纳米线

Nano Letters发表了大连理工大学黄辉教授团队的一项研究成果——无漏电流“纳米线桥接生长技术”。这项技术解决了纳米线器件的排列组装、电极接触及材料稳定性问题,制备出高可靠性、低功耗及高灵敏度的GaN纳米线气体传感器,该传感器可推广至生物检测以及应力应变检测等。

黄辉团队首次研究了纳米线桥接生长中的寄生沉积效应,发明了一种结合气流遮挡效应与表面钝化效应的桥接生长方法,解决了寄生沉积问题,并首次实现了“无漏电流”的GaN桥接纳米线,在此基础上研制出高稳定性、低功耗以及高灵敏度的集成GaN纳米线气体传感器,8个月电阻变化率<0.8%,NO2检测限达到0.5ppb。

GaN材料是第三代半导体,具有优异的稳定性(耐高温、抗氧化、耐酸碱腐蚀)和生物兼容性,适用于严酷环境下的应力应变以及液体和气体样品的检测(实验证明氢氟酸腐蚀48小时未对GaN纳米线产生影响),应用领域非常广泛。

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