赛默飞携旗下最新半导体解决方案亮相SEMICON CHINA 2019

近日，科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技（以下简称：赛默飞）亮相于上海举办的SEMICON CHINA 2019展会，现场发布展示了其最新一代的产品及半导体综合解决方案，新品致力于提高工厂及分析性实验室效率，进一步助力中国半导体事业的发展。

展会上，赛默飞从多个维度综合展现了其在实验室方案、失效分析、环境分析以及生产支持方面的综合能力以及一体化解决方案。其中以Thermo ScientificTMHelios 5为代表的一众新品，也通过SEMICON CHINA 2019这个绝佳的平台第一次在中国与业界的朋友们见面。

赛默飞首发推出最新一代Thermo ScientificTMHelios 5，这款全新的先进的小型聚焦离子束扫描电子显微镜将用于纳米材料的表征和分析。产品系列的发布解决了目前越来越多的半导体技术挑战，包括更小的几何形状，3D结构，新材料和大量的分析样品以提高产量和根本原因分析。随着半导体产业从7 nm技术节点转向5 nm技术节点，Helios 5 TEM和Atom Probe样品制备软件提高对最先进的原子级的结构和成分信息的获得能力，它可以在纳米尺度上实现最高质量的表面和3D信息，并且可以最精确地定位感兴趣的区域。

近几年来，半导体工业已经普遍接受使用ELITE（Enhanced Lock In Thermal Emission）实现电性失效分析定位的工作。Thermo ScientificTMELITETM系统具有极佳的灵敏度，可以弥补传统EMMI/OBIRCH检测的不足，还可以作为非破坏性检测，对于封装后的元件，分析失效点深度的位置。除了先进制程和封装的需求，针对功率元件在车用电子的应用，且支持高电压的测试。

同时还展出了：Thermo ScientificTMNicoletTMiG50 FT-IR光谱仪，Thermo ScientificTMNicoletTMiN10光谱仪，Thermo ScientificTMiCAPTMTQs ICP-MS ，Thermo ScientificTMNESLAB ThermoFlex 系 列，Thermo ScientificTMPhenomTMProX等产品。

展会现场，赛默飞展示了ELITE的实体机器并进行了DEMO演示，吸引了大批专业及相关人士的驻足了解问询。同行以及访客在展台现场聆听了现场工程师讲解赛默飞在半导体行业的综合解决方案，并共同分享探讨了半导体行业内的前沿技术与最新市场动态。（赛默飞世尔科技（中国）有限公司）