一种软性薄膜压力传感器

申请号: 201710528899.8

【公开号】CN107340082A

【公开日】2017.11.10

【分类号】G01L1/16

【申请日】2017.07.01

【申请人】苏州能斯达电子科技有限公司

【发明人】熊作平;张珽;谷文;井华;王冉

【摘 要】本发明涉及一种软性薄膜压力传感器，可通过新型纳米压敏材料的电阻率变化及两压敏层接触面积改变的协同作用来进一步提高传感器灵敏度，再辅以合适杨氏模量的超薄薄膜衬底从而解决了迟滞效应、测试重复性差异的问题。传感器包括第一/二软性衬底层、第一/二电极层、第一/二压敏层，压敏层、电极层和软性衬底依次连接；还包括支撑层，位于两层软性衬底之间且两层压敏层固定，两层压敏层之间存在间隙。