新型激光比长仪实现激光干涉仪动态高精度校准

新型激光比长仪实现激光干涉仪动态高精度校准

由中国计量科学研究院联合常州市计量测试技术研究所等单位研制的2台新型多功能1m激光比长仪装置分别在江苏省常州市计量测试技术研究所、无锡市计量测试中心实验室完成了线纹尺测量精度测试，实现了线纹尺测量不确定度U=(0.1+0.1L)μm（k=3，L∶m），重复性优于30nm，达到国内先进水平，可满足目前已有线纹尺的动态高精度校准需求，有效提升相关计量机构的一维长度精密测量水平。

据悉，该装置借鉴了中国计量院“激光干涉比长仪线纹工作基准”的精密激光干涉测长、高精度光电显微镜动态瞄准、精密气浮控制等关键技术，可实现线纹尺、激光干涉仪及位移传感器等设备的动态高精度校准。其主体采用天然花岗岩结构，基于变形分析和建模进行了精心设计，床身尺寸为3.4m×1m×0.7m，整体重达9t，导轨直线度实测优于1μm/m，可有效避免移动工作台运动所导致的机械

变形，抗震性能好，长期稳定性优。此外，其显微镜工作距离达28mm，适用于各种厚度的线纹尺刻线面朝向物镜或背向物镜检测，线纹尺校准与其使用状态一致，保障了量值传递的精度和可靠性。

(工 报)