一种光纤EFPI超声波传感器

申请号:201620021599.1

【公开号】 CN205373872U

【公开日】 2016.07.06

【分类号】 G01H9/00

【申请日】 2016.01.08

【申请人】 杨志强

【发明人】 杨志强;王伟;郭晨华

【摘 要】 本实用新型公开了一种光纤EFPI超声波传感器，包括传感器头单元和传感器体单元。其中，传感器体单元包括传感器护套，传感器头单元设置在该护套内部。传感器头单元包括毛细管以及一部分设置在毛细管内的光纤和用于固定光纤的套头支架，在毛细管的一端上还设置有用于感测超声波振动的膜片，该膜片的内表面、光纤的前端面以及毛细管的内表面共同界定形成一个法布里-帕罗腔，光纤前端面构成该法布里-帕罗腔的第一个反射面，膜片内表面构成第二个反射面。该光纤EFPI超声波传感器可实现对超声波信号的高效响应和采集，具有很高的灵敏度和测量精度。