真空镀膜机的原理及故障排除策略探析

邓学文　徐柳

【摘要】真空镀膜机主要应用在电子工业的元器件的生产和研制的过程中，该设备针对的是需要在较高真空下进行镀膜的元器件，本文将通过对真空镀膜设备的介绍以及在实际工作的应用及原理来分析故障排除的策略。

【关键词】真空镀膜机；故障排除；策略

1、引言

随着经济的不断的发展，电子工业也随之不断的发展，因此对于工业的要求也在不断的提高，对于主要应用在电子工业中的真空镀膜机而言，真空镀膜机自身的性能也在不断的提升。设备的使用有时候会出现某些故障，而对故障的及时排除不但可以縮短维修的时间，同时对类似的设备的排除工作提供便利。

2、真空镀膜机简介

2.1真空镀膜机结构

本文主要介绍DMF-700真空镀膜机的结构和特点，DMF-700真空镀膜机是一种大型的真空镀膜的设备。DMF-700真空镀膜机是在以前的镀膜机的基础上进行改进而来。DMF-700真空镀膜机主要是由真空系统、机械系统以及电子束蒸发系统为主要部分构建而成。三大系统中的电子束蒸发系统又是主要由纵向以及横向扫描单元和电子枪的灯丝变压和高压电源组合而成。

2.1.1基于高压电源的电子枪设备：三相变压器电路为电子枪的使用提供了它所需要的直流的电压，在正端是和复合装置相连，可以到达接地的目的，而相较于正端的接地，负端和电子枪中的电子枪灯丝相连接。以此来组成回路。2.1.2纵向/横向扫描单元：两种扫描单元都可以提供三角波扫描信息，主要的特点是三角波扫描信号是对称发生的。当它和比较稳定的电源相配合的时候就会对电子枪提供扫描电流，从而可以达到对电子束的控制。

2.2真空镀膜机的原因

真空镀膜机是用于真空的条件下，采用了电阻式的蒸发源的形式，来对石英片蒸镀一层可以导电的导电膜，导电膜通常使用的是银，这样就会形成电极，以便于可以作为各种不同频率的振荡器。

2.3真空镀膜机的主要特点：

2.3.1真空镀膜机在整个镀膜的过程中都是处于在高真空、恒温以及设备的自动控制中进行处理的，在这种的环境中，可以保证元器件所镀的膜的均匀性、一致性以及整个膜层的牢固度，保证了膜的整体的质量。2.3.2设备在连续的高温烘烤的环境状态中，机器中的十八个工作的工位夹会连续的进行六十到一百二十度的持续翻转，工作夹的准确定位、没有噪音的产生以及不会发生卡滞的现象，会在一定的程度上确保蒸镀上的晶片上每个被镀的表面上都有均匀、牢固的膜层。2.3.3设备中的真空室的设计的可靠性以及合理性好。2.3.4真空镀膜机中的真空控制选用的是可编程的控制器以及石英晶体膜厚的速率监控仪，这样的控制器可以分层控制所镀膜层的厚度，当镀的膜层到达一定的厚度的时候，蒸发源的挡板会自动的关闭并检测到蒸发的速度，以此可以实现真空自动化控制的效果。

3、真空镀膜机常见的故障及其排除策略

如果镀膜机出现故障后，工作人员应该第一时间的向使用者了解设备出现故障的现象，然后再对故障进行排查以确保更加准确、更加快速以及更加合理的对故障进行排除。

在排除设备的故障时，首选要对低真空的设备进行检测，检测其是否正常的工作，如果发现低真空设备可以正常的工作就需要打开镀膜机的主泵，如果主泵依旧正常的工作，就需要检测下室真空是否正常的工作，然后按照开高阀进行高真空的检查，一直检测到工作真空、极限真空、保真空以及到恢复真空。一下为几种常见的故障及其排除的方法

3.1真空的管路或者系统内出现返油现象

当在启动设备的时候，设备的真空管路或者设备中出现返油的现象，这种现象的发生有可能是油蒸汽返流到设备的真空管路或者系统中，还有可能就是油蒸汽压不对、抽气管路的底部用来密封的密封件损坏或者腐蚀。这种现象就需要对设备中的油和器件进行更换以及修理。

3.2系统工作时的温度过高

设备在正常的工作中是处于一种恒温的状态，如果发现系统在工作时，设备的温度过高，出现这种现象的原因有可能是设备的抽气口和排气口连接错误、周围环境的温度达到或者超过油蒸汽压、工作气体的温度过高等等原因。

3.3设备在工作时，泵达不到极限真空度

当使用镀膜机镀膜时发现泵达不到极限真空，造成镀膜工作的不能正常的进行，出现这种情况的原因有可能是设备的排气管直径小于排气口的直径、系统的主阀出现问题、真空阀或者排气阀出现损坏等等。

3.4泵油的消耗过多

泵油的消耗和装油的装置有关，有可能是出油口的密封圈损坏、进油口或者出油口发生泄漏、油封的安装错误等。

4、总结

真空镀膜机在工业中属于比较大型和复杂的工作设备，镀膜机在实际的使用中，有可能会出现各种各样的故障和使用问题，现象也行简单也行复杂，工作人员通过对镀膜机的了解，在一定的程度上可以分析到故障产生的原因，能有效的缩短对故障的排查和维修的时间，在提高自己工作效率的同时还可以提高设备的工作效率，达到双赢的结局。

参考文献

[1]陈晓东，王磊，何方.镀膜机控制系统原理及电路故障分析方法.《电源技术》，2011年9期

[2]李锐，张军，汪小芳.基于PEM的反应磁控溅射镀膜机参数监控系统.《计算机测量与控制》，2014年10期