发明与专利

氮化钽的刻蚀方法、磁传感器的形成方法

申请号: 201410006637

【公开号】CN103700623A

【公开日】2014.04.02

【分类号】H01L21/768

【申请日】2014.01.07

【申请人】上海华虹宏力半导体制造有限公司

【发明人】张振兴;奚裴;熊磊

【摘 要】一种氮化钽的刻蚀方法、磁传感器的形成方法。氮化钽刻蚀方法包括：以图形化的光刻胶层为掩膜，对氮化钽薄膜进行干法刻蚀，形成氮化钽层。干法刻蚀工艺的射频功率≤500W，较低的射频功率使得所形成的刻蚀气体的等离子体的能量较低，对氮化钽薄膜的轰击作用较低，被轰击溅射产生的钽元素与光刻胶形成的聚合物较少；用于承载晶片的承片台的温度≥25℃，较高的温度有利于所形成的聚合物被分解。因此本发明刻蚀氮化钽的工艺容易控制。

无线传感器网络能耗均衡覆盖调度及路由跨层设计方法

申请号: 201410004743

【公开号】CN104168631A

【公开日】2014.11.26

【分类号】H04W84/18; H04W52/02

【申请日】2014.01.06

【申请人】北京航空航天大学

【发明人】熊庆旭;付寅飞

【摘 要】本发明提供了一种无线传感器网络能耗均衡覆盖调度及路由跨层设计方法。首先利用改进的ECCP冗余节点判定算法，在考虑节点剩余能量的基础上，构造最小节点覆盖集。随后通过节点能耗速率来预测节点寿命，并确定激活的额外节点，使得网络中节点能耗尽可能均衡。本发明提供的覆盖调度算法将节点能耗速率作为调度依据，并以此建立了关联路由协议的直接通道，可实现综合覆盖调度和路由的跨层设计。本发明提供了以定向扩散路由协议为例子的具体结合的方法。仿真结果显示，应用本发明提供的覆盖调度算法能够显著延长网络寿命。

油位检测结构组件及传感器

申请号: 201420006373

【公开号】CN203962092U

【公开日】2014.11.26

【分类号】F01M11/00; F01M11/12

【申请日】2014.01.06

【申请人】重庆隆鑫发动机有限公司

【发明人】万力;彭吉文;崔兴建

【摘 要】本实用新型公开了一种油位检测结构组件及传感器，包括油位传感器和发动机壳体。油位传感器安装于发动机壳体用于检测发动机壳体内油位，检测油位的检测点靠近机油泵吸油口，这种结构能够保证及时检测油泵是否连续供油，以保证润滑；并且车辆在上坡等行驶状况下或者油位较低报警时油位高于机油孔有效吸油位置，利于准确反映发动机正常工作机油液位，以保证及时发现机油缺失等问题，避免因为无油或少油运转导致的拉缸、曲轴抱死等故障。

用于机械计度器字轮定位的电感传感器

申请号: 201420004285

【公开号】CN204115799U

【公开日】2015.01.21

【分类号】G01F15/16; G01F15/06

【申请日】2014.01.06

【申请人】曾少华

【发明人】曾少华

【摘 要】本实用新型涉及一种用于机械计度器字轮定位的电感传感器的具体组成结构和安装方式。其作用是在产品批量生产时，确保电感传感器使用性能的稳定可靠，同时工艺简单，安装方便，容易实现，并具有很好的防水防尘密封效果。把铁氧体磁芯做成具有两个长腿的形状，并绕上线圈做成电感传感器，将两条长腿卡在字轮的圆平面的两侧。在垂直于字轮的圆平面的方向上，向字轮内嵌入导磁材料块，字轮转动时，字轮上镶嵌的这些导磁材料块将进入或者离开电感传感器磁芯两腿之间的区域。电感传感器与字轮之间设置有防尘防水隔离层。

刻蚀后的灰化方法及磁传感器的形成方法

申请号: 201410006870

【公开号】CN103730351A

【公开日】2014.04.16

【分类号】H01L43/12; H01L21/311

【申请日】2014.01.07

【申请人】上海华虹宏力半导体制造有限公司

【发明人】张振兴;奚裴;熊磊

【摘 要】一种刻蚀后的灰化方法及磁传感器的形成方法。刻蚀后的灰化方法包括：提供基底，基底表面具有刻蚀形成的氮化钽层，氮化钽层表面具有光刻胶层，作为刻蚀氮化钽层的掩膜；刻蚀完成后，对光刻胶层进行灰化工艺。灰化工艺的灰化气体包括氧气和含氟的刻蚀气体，温度范围≤150℃，射频功率范围≤500W。由于灰化气体包括氧气和含氟的刻蚀气体，从而能完全去除氮化钽层表面的光刻胶层，且可以降低灰化工艺对氮化钽层和基底所造成的损伤。

一种井下微震监测深孔传感器安装装置

申请号: 201420015478

【公开号】CN203658593U

【公开日】2014.06.18

【分类号】G01V1/40

【申请日】2014.01.11

【申请人】玉溪大红山矿业有限公司

【发明人】彭朝伟;余正方;李波

【摘 要】本实用新型公开一种井下微震监测深孔传感器安装装置，包括引绳定位管、牵引绳、监测传感器。牵引绳设置于引绳定位管内，监测传感器固定于引绳定位管，牵引绳穿过引绳定位管且一端头固定。通过牵引绳将引绳定位管放置入垂直深孔内，再使用引绳定位管准确的将监测传感器安装于指定的位置，同时可根据要求对监测传感器进行准确定位，提高了监测模型的精度与准确度，将信号电缆设置于引绳定位管内避免了倒入混凝土时，混凝土下坠对传感器与信号线缆的损坏。本实用新型结构紧凑，观测成果高，可靠性强，便于安装维护，降低生产成本，提高了企业经济效益。

铁磁材料微振动传感器件

申请号: 201420023329

【公开号】CN204128676U

【公开日】2015.01.28

【分类号】G01H11/02

【申请日】2014.01.02

【申请人】高剑森;高浩博

【发明人】高剑森;高浩博

【摘 要】铁磁材料微振动传感器件由两个高磁导率“U”型铁氧体磁芯、线圈和外显设备组成，能够将环境的低频微幅机械振动转换为较强的电信号，供外显设备检测。主要包括：2个铁氧体磁芯、气隙、线圈、塑料盒、外显设备。在第一个铁氧体磁芯上绕上线圈，并将它们一起固定在塑料盒的底部，再将第二个铁氧体磁芯倒置于第一个铁氧体磁芯上，并让第二个铁氧体磁芯能够在其上面做上下自由运动，这时线圈中产生的感应电压，通过外显设备来检测或者监视。

汽车尾箱自动开启系统与方法及传感器装置

申请号: 201410005463

【公开号】CN103745514A

【公开日】2014.04.23

【分类号】G07C9/00

【申请日】2014.01.03

【申请人】广东铁将军防盗设备有限公司

【发明人】李植滔

【摘 要】本发明涉及一种汽车尾箱自动开启系统，包括：安装于汽车绝缘体后保险杠内侧面的传感器装置，与传感器装置电性连接并且安装于汽车上的PEPS控制器，用于供PEPS控制器认证车主身份信息的智能钥匙，以及用于驱动汽车尾箱盖开启的尾箱控制模块。其中，传感器装置包括控制单元和至少两个安装于后保险杠的电容感应件。本发明能够自动识别车主身份，并根据传感器装置检测到的踢脚动作信号来自动打开尾箱盖，有使用方便、安全性高、可靠好，并且完全防水的特点。此外，本发明还涉及一种传感器装置和一种实施上述汽车尾箱自动开启系统的汽车尾箱自动开启方法。