KLA-Tencor推出晶圆全面检测与检查系列产品应对10纳米良率挑战

KLA-Tencor推出晶圆全面检测与检查系列产品应对10纳米良率挑战

KLA-Tencor公司日前在 SEMICON West 2016上为前沿集成电路制造推出了六套先进的缺陷检测与检查系统：3900系列（以前称为第5代）和 2930系列宽波段等离子光学检测仪、PumaTM9980激光扫描检测仪、CIRCLTM5全表面检测套件、Surfscan®SP5XP无图案晶圆缺陷检测仪和eDR7280TM电子束检查和分类工具。这些系统采用一系列创新技术形成一套全面的晶圆检测解决方案，使集成电路制造的所有阶段“从早期工艺研发到生产工艺监控”，都能实现良率关键缺陷的发现与控制。

KLA-Tencor晶圆检测事业部执行副总裁Mike Kirk表示：“与我们的客户及早协作，加强了我们对未来工艺节点检测要求的理解，并且让我们能够准确调整研发与工程设计工作的方向，推出帮助客户解决关键良率问题的检测系统和解决方案。例如，3900系列宽频等离子检测仪不仅具备引人瞩目的检测性能，即10 nm以下缺陷的光学侦测，而且还能协助客户对其最复杂的芯片设计进行工艺调试。新的晶圆检测系列产品中的所有系统集成了先进缺陷发现与监控的多种创新技术，使我们的客户能够开发并改善他们的前沿器件”。

发现缺陷

3900系列、2930系列和 eDR7280将缺陷检测、设计及检查信息融为一体，形成一套缺陷发现解决方案，通过对关键缺陷的侦测与分析，促进了工艺和良率改善。这套解决方案可帮助集成电路制造商应对先进设计节点的挑战，例如与图案增殖及工艺系统缺陷相关的工艺窗口检测和良率损失。

革命性的3900系列宽波段等离子光学检测仪采用新型超分辨率深紫外线（SR-DUV）波长范围和光刻机级别的机台精准性产生卓越的光学分辨率，经证实能够侦测10 nm以下缺陷。2930系列宽波段等离子光学检测仪采用DUV/UV波段，可以作为对于3900系列波长范围的补充，确保在所有工艺层上的良率相关缺陷侦测均能达到最佳对比度。两款宽波段等离子光学检测仪可在大约1 h内提供完整的晶圆检测，允许采集晶圆级和批次级缺陷数据，借此全面理解和迅速调试复杂的工艺问题。

在3900系列和2930系列两套系统上，均借鉴了通过 pinopointTM和 superocellTM获得的设计信息。在关键特性（包括与设计弱点相关的那些特性）方面改善对于良率限制缺陷的灵敏度，以及减少与诸如测试图案等非关键特性相关之杂讯的专利技术。eDR7280电子束检查系统具备增强型影像记录和自动缺陷分类能力，能够精确表述由宽波段等离子检测仪侦测出的缺陷群，从而大幅度缩短缺陷发现所需的时间。

缺陷监控

Puma 9980、CIRCL5和 Surfscan SP5XP能够及早识别各种生产线、工艺及设备监控应用上的良率偏离，帮助芯片制造商加快产能提升，并最大限度地改善前沿器件技术的良率。Puma 9980激光扫描检测仪增强了缺陷类型的检测能力，支持先进成图工艺整个生产线前端和后端在良率提升阶段的的高产能监控。Puma 9980的新型Nano-PointTM设计可改善缺陷灵敏度，抑制系统杂讯缺陷，并增加检测结果的良率相关性。

CIRCL5包括使用并行数据采集进行快速且具有成本效益监控的可配置模块，8920i正面检测模块，CV350i边缘检测、检查与量测模块，BDR300背面检测与检查模块，以及自动缺陷检查与量测模块。通过关联所有晶圆表面的检测结果，例如边缘剥落缺陷与正面颗粒缺陷之间相关联，CIRCL5能够实现对工艺偏离来源的迅速识别。

Surfscan SP5XP无图案晶圆缺陷检测仪采用扩展型DUV技术和创新算法创造出新型操作模式，对于以具有成本效益的方式及早侦测出相关随机基板或薄膜缺陷与偏离至关重要。一种模式为先进的进程调试应用提供了业界领先的灵敏度，而另一种模式则在Surfscan平台上为生产工艺监控提供了迄今最高的产能。

世界各地的集成电路制造商已安装了多款3900系列、2930系列、Puma 9980、CIRCL5、Surfscan SP5XP和eDR7280系统，用于在先进技术节点进行逻辑电路和存储器件的研发与产能提升。2930系列、Puma 9980、CIRCL5、Surfscan SP5XP 和eDR7280可以在其前代产品进行现场升级，提供了保护晶圆厂资本投资的可扩展能力。为了保持集成电路制造所要求的高性能和高产能，所有六套系统均由KLA-Tencor的全球综合网络提供服务与支持。