柔性磁传感薄膜材料与器件研究成果



柔性磁传感薄膜材料与器件研究成果

柔性智能可穿戴设备的快速发展，提出了磁电功能器件柔性化的要求。由于磁性材料的逆磁致伸缩特性，弯曲或拉伸状态所产生的应力/应变会改变磁性薄膜的磁各向异性，从而影响磁性器件的性能。如何避免应力磁各向异性对柔性磁性器件性能产生不利的影响，是柔性磁性薄膜与器件发展中所面临的重要挑战之一。近年来，中国科学院宁波材料技术与工程研究所磁性材料与器件重点实验室磁电子材料与器件研究团队，系统研究了应力/应变对柔性磁性薄膜以及柔性交换偏置异质结的磁各向异性的调控规律。利用柔性聚偏氟乙烯（PVDF）压电薄膜的逆压电效应和各向异性热膨胀特性，在柔性FeGa/ PVDF、CoFeB/PVDF复合薄膜材料中实现了温度场和电场共同对磁各向异性的有效调控，其磁各向异性随温度的升高而增强，表现出正温度系数特性，可以解决常规磁性材料的磁各向异性随温度的升高而降低，从而导致高频磁性器件在高温下性能下降的问题。进而，利用柔性衬底的束缚作用提高了磁性薄膜的应力磁各向异性，获得了铁磁共振频率为5.3 GHz，反射损耗为28 dB的高频磁性薄膜。

（来源：http://www.nimte.cas.cn/news/progress/201605/t20160517_4603168.html）