国产300mm集成电路硅单晶制备和硅片加工设备研制单位
2015-07-04 01:41:42
电子工业专用设备 2015年8期
序号1234 56设备名称单晶生长炉多线切割机精密磨削机双面抛光机单面精密抛光机（CMP）高温立式退火炉研制单位浙江晶盛机电股份有限公司、西安理工晶体科技有限公司中国电子科技集团公司第四十五研究所无锡机床股份有限公司兰州瑞德设备制造有限公司（现更名：苏州赫瑞德电子专用设备科技有限公司）中国电子科技集团公司第四十五研究所北京七星华创电子股份有限公司
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