液空展示系列创新解决方案

在近日于上海新国际博览中心闭幕的国际平板显示展、全球最大规模的泛半导体产业SEMICON、SOLARCON展上，法国液化空气集团 (以下简称液空)展示的高纯度大宗气体、硅烷 (SiH4)、高纯氨等电子特气产品以及新一代的反应腔清洗解决方案，受到广大客户和专业观众的好评。

硅烷是半导体、平板显示器和光伏产业广泛并大量使用的电子特气，液空是目前全球唯一能自主生产硅烷的工业气体公司;液空领先的现场制氟技术可替代 NF3，清洗高效且安全环保;液空的ALOHATM先进材料应用于化学气相沉积与原子层沉积等半导体制程，曾数度荣获国际集成电路行业大奖。

据悉，液空在南通的高纯氨工厂，可满足国内LED、光伏、平板显示器等行业用户需要，缓解了该产品长期依赖进口，且成本高、供货期长的矛盾。