双金属电弧离子蒸发源的研制
2012-04-29 20:32胡志杰李争显
科技创新导报 2012年13期
胡志杰 李争显
摘 要:阐述了双金属电弧离子蒸发源的设计原则及结构。利用双金属电弧离子蒸发源成功制备了TiAlN膜层,并对优化的制备参数做了简要介绍。
关键词:电弧离子镀离子蒸发源研制
中图分类号:TG174 文献标识码:A 文章编号:1674-098X(2012)05(a)-0014-02
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