中微尹志尧：半导体设备业要超越才能发展

半导体设备领域门槛很高，同时风险比较大

只有中国芯片产业的大发展，才能支撑半导体设备产业的发展

因为政府的大力支持以及民间的努力，近年来，我国很多地区都相应地开发出不同的、很有竞争力的半导体设备。以上这些，可以说都是最近几年中国半导体设备产业的亮点。当然这些成绩也只是国产设备初步的发展，要真正做到国产高端设备全面进入国内和国际两个市场还需要相当多的努力。

中国半导体设备产业发展也有几十年了，我们的设备之所以不能进入大生产线，一方面是工艺问题，另一方面，我们并没有完全搞清楚研发生产的样机与能够在大生产线上重复、可靠、安全使用的生产设备的区别。要做出一个真正能够在生产线可以使用的设备，重复性、可靠性、安全性非常重要。样机出来了，工艺也走通了，只是完成了设备的10%，要进入大生产线还有90%的事情要做，其中包括市场开拓，客户评介，售后服务等一系列的问题。

国内设备公司只立足国内市场是很难生存的，因为中国市场只占国际半导体设备市场的5%，甚至更小。但如果进入国际市场就会遇到很高的壁垒，这个壁垒不仅仅是技术的壁垒，还有区域性、政治性壁垒以及法律的风险等。因此，只有中国芯片产业的大发展，才能够支撑中国半导体设备产业的发展。

中微在进行设备研发之初就知道，我们不能按照国外最先进的技术进行设计，因为即使我们做出来同样先进的设备也没办法打入市场与对手竞争，用户不可能花时间测试一件他们已经有的设备，所以，我们必须设计出超过国外设备能力的，包括工艺加工方面的能力，特别是在产能和成本方面有相当优势的产品，才有可能打入市场。中微的设计基本围绕两个方面，一是在反应器的设计上采用甚高频去耦合的反应离子刻蚀技术，这在当时是最新的概念，最近5年，国际上同类公司都采用了这一技术，证明我们早期的选择是正确的。另外一方面，我们设计了一个可以单台独立操作的双台反应器系统，到现在为止，业界已经广泛地接受了这种可以单台操作的但是是双台反应器的系统，这个概念的设备，可以使客户得到35%左右的生产效率的提高以及35%左右成本的节省，同时设备的占地面积也相应地减少

35%左右。这样的设备才有竞争力。中微目前已经完成了第一代产品的开发并已初步进入市场，在生产线上也已经得到非常稳定的结果。目前公司面临两个任务，一个是设备全面进入市场，提高产量，扩大市场占有率，二是，公司目前也在紧锣密鼓地开发下一代产品，下一代产品也会很快进入市场，下一代产品将可以做到22nm级甚至更为先进。

中国半导体设备业要发展，首先要有一个很好的设计理念，不能跟踪国外的技术，这是没有前途的，一定要找到一个突破点，在技术上或者设计上、产量上、成本上有独到的地方。只有“赶上”在设备行业是没有办法生存的，必须超过。其次，要注意市场推广和销售问题。做出一个好产品如何打市场，如何进行销售、如何做好售后服务，这些都是非常重要的问题。

随着半导体照明市场快速启动，LED外延芯片的核心设备MOCVD市场日益受到关注。中微具有高压热化学反应的经验，面对发展非常快速的LED市场，中微已经决定进入MOCVD领域，并将快速推出具有竞争力的设备。