慧摩森日前推出一款性能更高的光栅编码器--MII6000系列,这是美国MicroE公司一款新型旗舰产品,--超越了以往产品的性能:
*同M3500的读数头一样,Z向高度仅有8.2mm
*最高分辨率高达1.2 nm
*细分误差极低--玻璃光栅尺只有±20nm--优于其他品牌的20μm编码器
*传感器接头上的LED指示灯实时显示信号强度、零限位状态
*读数头能耗低,只有250 mW
*数字信号输出:A-quad-B,零位、限位、报警信号或者高速串行接口
*读数头适用于大气环境或真空环境
对MII6000来说,MII5000所有的性能和特点:金属光栅尺或玻璃光栅尺、线性或旋转运动、双限位、差分输出、周期误差、精度等,它都能适用。
同 MII5000系列一样,MII6000和 MII6000V系列各有3种型号(MII6800Si只有一种型号):
MII6800(V):最高分辨率达1.2 nm
MII6700(V):最高分辨率达5 nm
MII6500(V):最高分辨率达50nm
应用行业
MII6000系列适用于需要高分辨率、高精度(精度范围要求小)、低重复误差、安装空间小的环境:
OEM压电式电机/平台
纳米位置控制器/compact stage
OEM音圈电机及应用
OEM真空电机以及SEM/TEM显微镜
激光加工设备中的光学系统
半导体前端设备
其它专用设备行业......
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