阵式

致伸缩薄膜进行栅阵式设计，可以获得一种新型的快速、灵敏度高的磁场检测方法，提高磁场传感器的线性度、一致性和稳定性，减小迟滞误差，由此改善磁场传感器的性能。由此为高性能磁场检测提供了一个有效途径。研究人员将栅阵式图形设计的铁钴磁致伸缩敏感膜与表面声波相结合进行磁场感测，所提出的传感器由差分双延迟线振荡器构成。传感通道上的器件表面利用射频溅射技术和套刻工艺沉积铁钴薄膜栅阵，通过释放铁钴中的内部应力变化来有效地抑制磁滞效应。参考通道的器件用于通过差分方法有效减小