基于光电融合的一体化多参量传感器及其制备方法

申请号: 202310512850.9

【申请日】2023.05.09

【公开号】CN116295656A

【公开日】2023.06.23

【分类号】G01D21/02;G01K7/18;G01L1/24;G01D5/24

【申请人】之江实验室

【发明人】王珊; 王啸宇; 王琪; 张磊

【摘 要】本发明公开了一种基于光电融合的一体化压力/温度/接近多参量传感器及其制备方法。包括基于光学机制的柔性光波导和卷绕在其上的基于电学机制的柔性叉指电极薄膜，其中柔性光波导由两根插入到硅胶管中且相隔距离的光纤构成。该传感器借助光电融合的多维度响应信号实现压力-温度-接近三参量的自解耦无串扰感知，压力通过光波导损耗以光强的形式测量，温度通过电极的热阻效应以电阻的形式测量，物体接近通过叉指电极边缘电场以电容的形式测量。本发明可同时监测压力、温度和接近，并且没有信号串扰，结构紧凑，制备简单，无需复杂的系统集成和解耦算法，具有广阔的应用前景。