“集成电路材料关键质量参数的检测体系研究与应用”项目获2022年度上海市质量协会质量技术奖

2022年9月27日，2022年度上海市质量协会质量技术奖获奖名单公布。上海市计量测试技术研究院 “集成电路材料关键质量参数的检测体系研究与应用”项目荣获综合类质量创新成果优秀奖。

上海市质量协会质量技术奖围绕重点产业、重点领域质量提升工程以及质量技术基础建设等方向，奖励上海市企事业单位在质量技术创新领域做出突出贡献的项目成果和个人。

“集成电路材料关键质量参数的检测体系研究与应用”项目通过研究国际先进材料的质量体系、剖析先进工艺流程参数、调研国内集成电路产业使用材料的质量要求，进而确定了我国集成电路材料的关键技术指标。结合高纯试剂的质量控制方案，通过开发采样和前处理方法，优化实验环境质量控制的方案，细化检测步骤，优化设备参数等，形成了以痕量阴阳离子、颗粒为关键参数的集成电路材料质量体系。开发了包含湿电子化学品、光刻胶、抛光液中关键技术指标，如：痕量阳离子、阴离子、颗粒的检测方法，突破了痕量检测技术的瓶颈，满足10～14 nm工艺制程的质量要求。

集成电路材料是集成电路产业发展的基础，也是集成电路产业有序发展的保障。该项目突破了产业内多个“卡脖子”的关键难题，解决了材料上下游关键参数不明确、质量要求不一致的问题，打通了产业上下游的质量体系，打破了国外对材料验收的技术壁垒，能够较好地服务于集成电路材料国产化验证项目和重要国产材料替代项目，助力国内集成电路产业的高质量发展。