“江丰电子”智造“中国芯”

■闵时燕

2021年11月3日上午，2020年度国家科学技术奖励大会在人民大会堂举行，共评选出264 个项目、10 名科技专家和1 个国际组织。

由宁波企事业单位牵头、合作完成的8 个项目荣膺国家科技奖，分获国家科技进步一等奖1 项、二等奖3 项，国家技术发明二等奖4 项。

其中，由宁波江丰电子材料股份有限公司牵头完成的“超高纯铝钛铜钽金属溅射靶材制备技术及应用”、宁波三生生物科技有限公司参与完成的“良种牛羊卵子高效利用快繁关键技术”、浙江大学宁波理工学院参与完成的“包装食品杀菌与灌装高性能装备关键技术及应用”、宁波海天精工股份有限公司参与完成的“高性能龙门加工中心整机设计与制造工艺关键技术及应用”等4 个项目获国家技术发明二等奖。

值得一提的是，宁波江丰电子材料股份有限公司以第一完成单位身份获得国奖，该项目由宁波提名。

在与重庆大学合作下，江丰电子攻克了芯片制造所需的关键材料——超高纯金属溅射靶材在形变热加工过程中的精细调控、异种金属高结合率焊接、金属熔炼提纯以及靶材的精密机加工等多项关键核心技术，开发出用于芯片制造的超高纯金属溅射靶材的全套生产工艺。目前，江丰电子占有芯片用溅射靶材中国市场份额第一，全球市场第二。

董事长姚力军正是领军人物。

2005年4月，姚力军毅然踏上回国创业的征程，在余姚组建了中国第一个超高纯度金属溅射靶材研发生产基地——宁波江丰电子材料股份有限公司，从此走上了不断创新、智制“中国芯”的历程。

大学时代，姚力军就有一个心结：为什么计算机的主板、硬盘等关键部件，都是国外进口的？ 全世界最好的芯片到底是怎么做出来的？ 1994年，已经获得哈尔滨工业大学工学博士学位的姚力军申请到了日本文部省的奖学金，赴日本国立广岛大学攻读第二个博士学位。

“我出国的目标很明确，就是要把最先进的技术学习好、带回国。我从出国之初就开始一系列准备：海外的历练，包括学习技术、学习管理，结交人脉，熟悉上下游产业链……我在各方面都做了充足的准备。”姚力军说。

在日本的十年间，姚力军被称为“拼命三郎”，凭借与生俱来的敏感和出色的能力，他不仅成为世界范围内掌握超高纯金属材料及溅射靶材核心技术的专家之一，还成为世界500 强霍尼韦尔公司大中华区的最高负责人。

超大规模集成电路又称为“芯片”，超高纯金属溅射靶材就是制造芯片的关键材料。在姚力军创立江丰电子之前，溅射靶材的核心技术只掌握在少数几家美国和日本企业手中，是中国半导体产业发展长期跨不过的一道门槛。

“最初外国人根本不相信中国人可以造出如此精密的溅射靶材，想要实现 ‘从无到有’ 的突破，确实有着不小的难度。”姚力军说。深知创新人才的重要性，回国时，他不但带了20 个集装箱和1 个散货船的专业设备，还请来了留美博士潘杰及6 名日本专家。

2005年10月，江丰电子第一块靶材产品成功下线，结束了中国溅射靶材完全依赖进口的历史，成功填补了国家的产业和技术空白。2009年8月，熬过2008年由金融危机引发的资金链断裂，拒绝被跨国收购的江丰电子涅槃重生，开始向中芯国际供货，产业化正式起步。2014年，纯度高达99.999%的超高纯钛在余姚投产，此举创造了多项第一：它不仅是中国第一炉“电子级低氧超高纯钛”，也是中国第一条低氧超高纯钛的产线，使中国成为世界上第三个能够生产低氧超高纯钛的国家。2017年6月15日，“江丰电子”在深圳证券交易所创业板挂牌上市。

如今，在靶材研发方面，江丰电子已实现10 纳米和7 纳米半导体芯片靶材的产品量产，正朝着5 纳米及更高的研发技术昂首迈进，成为我国靶材领域最具国际竞争力的企业之一。

公司拥有覆盖Al、Ti、Cu、Ta 等多种金属材料及溅射靶材全工艺流程的完整自主知识产权。目前累计申请专利637 项，截至2019年6月底，授权专利250 项，位列中国企业专利500 强第74位。

历经15 余年的发展，如今江丰电子的产品不仅得到国内市场的认可，而且已被美国、日本、欧洲、韩国、东南亚的主流半导体公司认可，承担国家02 重大专项、国家863 重大专项、发改委高技术产业发展项目、工信部电子发展基金等科研及产业化项目。作为宁波江丰电子材料股份有限公司董事长兼首席技术官，因为在芯片制造方面的不断创新，姚力军获得了浙江省科学技术重大贡献奖、浙江省非公有制经济人士新时代优秀中国特色社会主义事业建设者、“科技新浙商十周年特别奖”等荣誉称号。

走进江丰电子，最先映入眼帘的是挂着一排排专利证书的“自主创新”墙，“自主创新”墙的背后则是陈列着一张张缤纷多彩员工团建照的“人才墙”。在姚力军心中，这两面墙是江丰电子最为珍贵的财富。

除了大力培育和引进本企业的创新人才，姚力军还有一个特殊称谓：宁波市“引才大使”。他抓住会议、洽谈等各种机会，向与他接触的海外高层次人才推介宁波的创业环境，吸引与他一样有使命感的高层次人才回国创业。他一直心怀梦想：“在超高纯金属材料提纯和超高纯金属及溅射靶材领域，插上越来越多的胜利旗帜！”

姚力军说，创业的历程很艰辛，创新的路上有曲折，但江丰电子矢志不渝，咬定目标不放松，坚持创新不动摇，终于取得了令世人瞩目的业绩，其产品和工艺技术处于国际领先水平。“这一切，都离不开余姚市委、市政府及各部门的大力支持，是余姚哺育我和江丰电子成长。拥有一系列创新平台的余姚，是培养人、培育企业的好地方，这是一个让我大显身手、为国效力的精彩舞台。”

谈到未来的发展，姚力军信心满满：“过去的10年，是江丰电子从小到大、迈上高速发展的10年，可以说是企业的1.0 版；今后，我们要借助余姚创设的好平台，进入江丰发展的2.0 版，砥砺前行，再接再厉，谱写发展新篇章。”他说，江丰电子公司已在城东建造新的研发基地，并在全国布局，接下来的10年，将瞄准半导体领域最领先的技术，进一步加大研发力度，建立良好的装备能力与品质保障能力，力争产品占据超过30%的全球市场份额，成为全球数一数二的半导体企业，为中国先进装备制造业做大做强作出更大贡献。“‘中国制造’ 并不是廉价低质的代名词，我们要让‘中国制造’ 在半导体领域有一个响彻世界的名字！”姚力军对未来的发展满怀信心，他将继续扎根于超高纯金属及溅射靶材领域，用火红的中国心，智造纯正的“中国芯”！ ■