专利名称:铜铟镓硒薄膜太阳能电池铜钼合金背电极及其制备方法

2021-04-04 13:23:12
中国钼业 2021年1期
关键词:氧化钼阻挡层氮化

专利申请号:CN201810934638

公开号:CN109119494A

申请日:2018.08.16

公开日:2019.01.01

申请人:蚌埠兴科玻璃有限公司; 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司

本发明公开一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池铜钼合金背电极,包括由下至上依次层叠设置的衬底、杂质阻挡层、金属导电层与硒阻挡层;杂质阻挡层为硅氧化物、硅氮化物、硅氮氧化物、Ti、Zr、Cr、V、Nb、Ta或Ni;金属导电层为Cu或Cu合金;硒阻挡层为单阻挡层或复合阻挡层,单阻挡层为钼、氧化钼或氮化钼,复合阻挡层由钼、氧化钼、氮化钼的两种或两种以上层叠构成;采用磁控溅射在衬底上依次沉积各个结构层即完成制备;在以铜或铜合金为金属导电层的背电极中引入杂质阻挡层与硒阻挡层,杂质阻挡层能够阻止衬底中的杂质向铜铟镓硒薄膜光吸收层扩散;硒阻挡层能够阻止硒元素向金属导电层的扩散,避免了硒和金属导电层之间的反应,确保金属导电层的稳定性。

猜你喜欢
氧化钼阻挡层氮化
固体氧化物燃料电池Ce0.8Mo0.2O2+δ阴极阻挡层研究
电源技术(2021年9期)2021-11-20 15:16:04
氮化铝粉末制备与应用研究进展
陶瓷学报(2021年1期)2021-04-13 01:33:08
AlCrTaTiZrMo高熵合金氮化物扩散阻挡层的制备与表征
表面技术(2019年6期)2019-06-26 10:20:34
XD超级氮化催渗剂的运用
以氮化鎵/氮化铝镓超晶格结构优化氮化铟镓LED
电子制作(2018年12期)2018-08-01 00:47:48
国产高纯氧化钼湿法冶金中试生产线产品下线
中国钼业(2017年6期)2017-01-21 18:58:02
40CrH钢气体软氮化-后氧化复合处理的组织性能
上海金属(2016年2期)2016-11-23 05:34:32
移去电子阻挡层对双蓝光波长LED性能的影响
专利名称:一维氧化钼纳米棒气敏材料及其制备方法和应用
中国钼业(2013年6期)2013-01-30 10:10:44
纯氧密闭干法焙烧硫化钼生产氧化钼工艺研究