精密低损耗光学元件制造与检测技术

精密低损耗光学元件制造与检测技术针对高精密光学系统中低损耗光学元件需求，实现高质量、低损耗光学元件的制造。开展中大口径非球面光学元件成套制造技术研究，兼顾加工效率和精度，实现高效精密可控制造，增强确定量抛光能力，可满足武器装备需求，打破国外垄断。

该成果提出可控、高效、高精度的工艺新流程，实现了精密磨削、等离子体快速抛光、小工具数控抛光和磁流变超精密抛光技术高度集成，430 mm×430 mm方形非球面楔形透镜加工周期由40 d缩短为25 d，面形精度PV值0.1个波长、均方根值0.012个波长，粗糙度0.96 nm。系列成果构建了中大口径非球面光学元件制造与检测的新体系 ,2016年获得国防科学技术进步奖一等奖。采用激光扫描、散射和共焦显微的原理，结合微弱信号探测技术，创新性地解决了亚表损伤层的非破坏性定量测量问题，国内首次获得了光学表面亚表层损伤纵向截面分布图，为光学元件加工过程中损耗损伤测试提供了可靠的检测技术。