荷兰开发出用于纳米级传感的超大带宽集成光学传感器

荷兰埃因霍温理工大学开发出一种新型光学传感器，可提高测量的分辨率，并有助于实现包含激光器和片上传感平台的检测器在内的完全集成、紧凑的光学传感器。该传感器通过光刻工艺制作波导和悬臂，由换能器、致动器和光电二极管组成，分辨率高达45飞米，还具有80纳米的超宽光学带宽，无需昂贵的可调谐激光器，进而使传感器更加紧凑。目前，研究人员计划基于该新型传感器开发集成在芯片上的“纳米计量实验室”，该实验室可用于半导体计量，能够在纳米级的精确位移和力测量中发挥关键作用，并有助于设计下一代微芯片和纳米电子產品。