近日,湖南先进传感与信息技术创新研究院核心实验室在湘潭大学正式落成。
该平台主要依托北京大学团队在碳基集成电路技术领域的先导性技术优势和体系完整的原创性技术,建设碳基纳米器件和新型传感器研究的国家创新中心和国内一流创新平台,基于该平台研发出属于我国的“中国芯”。
此次落成的核心实验室,即微纳传感器加工实验室,包括百级、千级、万级在内的超净室约1500平方米,以及一批先进的微纳加工设备。超净室最主要的作用在于控制产品所接触大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产。
发明与创新2019年45期
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10《经济技术协作信息》2024年6期