柔性透明的高性能湿度传感器

2019-02-17 14:51:59

传感器世界 2019年10期

国际知名学术期刊Small 发表了中国科学院半导体研究所超晶格国家重点实验室研究员沈国震课题组的一项研究成果——一种柔性透明的高性能湿度传感器（Flexible Smart Noncontact Control Systems with Ultrasensitive Humidity Sensors, DOI: 10. 1002/smll.201902801）。

该传感器基于MoO3纳米片，采用低成本、简便的溶液方法合成，对外部相对湿度表现出出色的灵敏度，湿度从0%RH变为100%RH时电流变化了5个数量级。此外，传感器具有快速响应（＜0.3s）和恢复时间（＜0.5s），还表现出长期稳定性（＞1个月），并且具有很好的机械灵活性。

同时，研究人员开发了一种可穿戴湿度分析系统，用于环境湿度监测和非侵入性人体呼吸监测。此外，该湿度传感器的远程非接触式交互式传感特性被应用于非接触式多级开关和柔性非接触控制屏幕两个人机交互系统中。

这项研究为基于氧化物纳米材料的湿度传感器在智能人机交互系统方面提供了巨大的应用前景和可行性工艺。