“超高纯四氯化硅技术研发项目”通过科技成果鉴定

本刊讯2018年1月9日上午，中国电子材料行业协会组织行业专家对中国恩菲和中硅高科共同承担的“超高纯四氯化硅技术研发项目”进行成果鉴定。该项目于2015年10月10日得到河南省科技厅审批，随后，中国恩菲依托中硅高科，发挥强大的研发团队和持续的技术研发能力，结合已有四氯化硅提纯工艺技术，经过2年潜心研发，该项研发成果已经得到了应用实践检验。

鉴定委员会听取了项目组的汇报并对现场进行了详实考察，审查了相关资料，经质疑和讨论，一致认为：“超高纯四氯化硅技术研发项目”自主研发了“以多晶硅副产物四氯化硅为原料制备光纤用OVD级高纯四氯化硅的吸附精馏提纯工艺、以OVD级高纯四氯化硅为原料制备光纤用PCVD级超高纯四氯化硅的光催化反应精馏提纯工艺、超高纯四氯化硅的全自动充装技术和装备、超高纯四氯化硅产品密闭在线取样系统”等先进的工艺及装备技术，保证了产品质量稳定性及检测结果的准确性。该成果实现了多晶硅副产物四氯化硅的综合利用，提高了四氯化硅的产品附加值，已应用并建成了10000吨/年的OVD级高纯四氯化硅和100吨/年的PCVD级、半导体超高纯四氯化硅生产装置，具有自主知识产权和创新性，鉴定委员会专家一致认定，该项目技术水平达到国际先进水平，顺利通过科技成果鉴定。

该项成果鉴定的顺利通过，不仅标志着中硅高科超高纯四氯化硅技术水平得到业内专家的一致认可，同时也代表着中国恩菲转型发展迈出了坚实的一步。