2015年中国半导体设备经济运行分析和2016年展望

2015年中国半导体设备经济运行分析和2016年展望

中国电子专用设备工业协会金存忠

2015年，在中央扩大内需、稳增长、淘汰落后产能的各项政策的推动和国家科技专项的支持下，中国半导体设备行业加快了自主创新和转型升级的步伐，继续呈现快速增长态势。

根据中国电子专用设备工业协会对国内34家主要半导体设备制造商的统计，2015年半导体设备完成销售收入47.17亿元，同比增长16.38%；利润总额10.53亿元，同比增长24.2%；出口交货值6.62亿元，同比增长50.1%。

（一）2015年半导体设备分类销售情况

（二）2015年中国半导体设备十强单位（按销售收入排序）

中国电子专用设备工业协会根据中国34家半导体设备制造商统计，2015年中国半导体设备十强企业完成销售收入37.63亿元，同比增长25%。其中：集成电路设备销售收入18.61亿元，同比增长56.6%；太阳能电池生产设备12.82亿元，同比增长1.75%；发光二极管设备4.72亿元，同比增长12.11%。

2015年中国半导体设备十强企业完成出口交货值6.16亿元，同比增长67.8%。其中，集成电路设备出口5.77亿元，同比增长63.9%。

（三）2015年中国半导体设备新进展

一批高端集成电路设备研制成功并成功进入大规模集成电路生产线

北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司研制的300 mm、28 nm金属物理气相沉积系统和高密度等离子硅刻蚀机、中微半导体设备（上海）有限公司研制的双反应台刻蚀除胶一体机和22～14 nm单反应台等离子体刻蚀机、北京中科信电子装备有限公司研制的90～65 nm大角度离子注入机、七星华创电子股份有限公司研制的300 mm（90～28 nm）立式氧化炉、盛美半导体设备（上海）有限公司研制的单片兆声波清洗机、北京中电科电子装备有限公司研制的倒装焊接机等一批高端集成电路设备成功进入大规模集成电路生产线将迅速提高国产集成电路设备在市场的占有率。

智能化、自动化的太阳能电池新设备成功进入太阳能电池片生产线，成为太阳能电池片生产企业改扩建生产线的首选

浙江晶盛机电股份有限公司研制的金刚线单晶硅棒切磨加工一体机可以有效提高硅材料切割质量与效率，减少了太阳能电池用硅片的成本。

浙江晶盛机电股份有限公司研制的8英寸全自动、智能化区熔硅单晶炉打破了我国大直径区熔炉技术长期被国外企业垄断的局面，生产的太阳能电池片光电转换效率可以达到24%，具有显著的经济、社会效益和重要的新能源战略意义。

中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的国内最大口径、高产能（每管每批336片）的太阳能电池片生产设备PECVD在用户生产线上实现量产，创业界高产能记录，有效地降低了太阳能电池片的成本。

北京七星华创电子股份有限公司研制的负压扩散炉，单管产能已经达到1000片，除实

现了高产能外，设备还呈现出高方阻工艺结果稳定、单片制造成本减半、设备运行消耗降低、维护成本降低等诸多优点，获得了整个光伏行业的普遍认可，成为改扩建生产线的首选装备。

半导体照明制造关键设备实现了产业化

中晟光电设备（上海）股份有限公司研制的具有自主知识产权的金属有机化学气相沉积设备（MOCVD），是用于半导体发光二极管（LED）芯片外延工艺的关键设备。2015年设备获得市场检验和认可，实现了产业化，摆脱了我国MOCVD设备依赖进口的被动局面。

（四）2016年半导体设备制造业发展展望

1、集成电路设备将继续保持快速增长

2015年在02专项和国家集成电路发展基金的支持下，更多的国产集成电路设备将进入大生产线，国产集成电路设备的国内外市场将继续得到增长。

2、太阳能电池生产设备将快速增长

2016年国家继续扩大国内光伏市场，光伏行业年度增长率目标将超过，中国已成为全球光伏最大的终端市场，光伏企业将加快淘汰落后生产线设备扩大产能，将给我国太阳能电池设备制造商带来了新的发展机遇。

3、LED生产线设备受LED市场的影响，增长趋缓。

预计，2016年主要半导体设备制造商销售收入将增长20%左右，达到57亿元左右。