微纳米加工净化间的环境维护与管理

郭党委，冯娟娟

(兰州大学 磁学与磁性材料教育部重点实验室,兰州 730000)

·实验室建设与管理·

微纳米加工净化间的环境维护与管理

郭党委，冯娟娟

(兰州大学 磁学与磁性材料教育部重点实验室,兰州 730000)

随着现代科技的发展，科研工作越来越需要与实际应用相结合，因此国内高校越来越多的建立起用于微纳米刻蚀的净化间，相应的其维护管理操作规范的建立也很有必要。文中主要从净化间的环境控制、运行规范和人员管理等三个方面，讨论和阐述了如何使其安全良好运行，进而确保制备样品的质量，为高校科研活动提供保障。

高校；净化间；维护；管理

近年来随着我国综合国力的不断提高，国家在高科技领域的投入及支持力度逐年加大。高校作为教学科研的一个重要基地，越来越受到国家重视和大力支持，从而极大地推动了高校学科建设和科研水平提升，相应的也给高校实验室建设带来了发展机遇[1-5]。同时随着现代科技的发展，科研活动也需要更多地与实际应用相结合，因此用于微纳米刻蚀的净化间也越来越多的高校中建立起来[6-7]。为此，兰州大学根据学科发展需要，在学校“985工程”经费的支持下，从2008年开始实施筹建微纳米加工实验室。仅用三年时间，净化间建设和曝光刻蚀设备调试验收完成，目前已对校内外正常开放。

净化间，顾名思义是指空气经过净化的房间，它的设计建造是以减少室内尘粒为目的，其他参数如温度、湿度、压力等按照要求进行控制。净化间以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分洁净程度，一般常用的为百级间、千级间和万级间[8-11]。高校建立的微纳米刻蚀净化间主要是用于微纳米级图形及原理性器件的制备。一般来说，样品刻蚀的质量决定其特性表现，即样品的制备是科研的基础和关键，因此加强对净化间的环境维护和管理，以保证其环境和功能良好运行至关重要。

1 净化间的环境控制

净化间的洁净环境主要是通过空气的“过滤”来逐步实现和维持的，因此环境的控制管理是基础，主要包含四个方面。

(2) 保持卫生清洁。净化间内每天做完实验后应该把实验桌面整理干净，各种实验药品和仪器记录本按照规定摆放整齐；净化间的卫生应该每天打扫一次，每月彻底打扫一次，尽可能地保持室内卫生洁净。

(3)用于清洗基片的化学用实验台应与用于曝光和刻蚀的实验仪器放于不同的房间，以减少环境的变化对仪器尤其是曝光仪器的影响。

(3)定期对净化间进行空气质量检测，针对检测结果来进一步确定维护程序。

2 运行规范

(1)净化间内物品要摆放合理，便于操作；尽量减少室内物品种类和个数，严格控制物品出入次数，要求物品在放入净化间前一定要擦洗干净，尽可能地减少外来物品引起的污染。

(2)净化间内工作要制定严格的实验流程和操作规范，同时明确区分洁污区域。

(3)净化间的空调和过滤系统最好每天24 h运行，这样可以保持良好的室内洁净度。如果空调和过滤系统不能每天24 h连续运行，那么就需要：每次进入净化间前30 min打开空调和过滤系统，使其连续运行，尽可能地排尽污染颗粒，达到要求，保证空气质量[12-13]。

(4)要定期检测空调和过滤系统的运行情况，做好仪器的维护保养工作。每周要对抽风和回风口进行清洁，要定期地对过滤器进行检查，一般情况下，初效和中效过滤器每六个月更换一次，高效过滤器每1～2年更换一次，以确保灰尘过滤效果，从而达到净化间的洁净度[7-8,10]。

3 人员管理

(1)严格控制人员进出，尽可能地减少人员进出次数。

(2)工作人员应首先做到保持个人清洁卫生，进入净化间内不允许带贵金属、装饰品及一切化妆品；净化间内严禁饮食；进入净化间时需要换鞋，穿戴整齐：超净服、口罩、手套、鞋和帽子，尤其是长发女性，一定要用网套把头发盘起来，然后戴上帽子，以免头发暴露在净化空气中[7-8, 13]。

(3)净化间内所用记录纸应选用无尘纸，记录用圆珠笔。

(4)工作人员进出净化间要随手关门，净化间的门要时刻保持关闭状态。

(5)加强净化间工作人员理论和技能培训，明确净化间工作原理和环境维护要求，熟悉其维护基本知识，严格规范工作人员的行为和各项操作规章制度[7-8, 13-14]。

4 结束语

净化间是采用空气过滤净化措施将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气和细菌等污染物排除，并将室内的温度、湿度、压力和气流速度等控制在某一需求范围内而所特别设计和建造的房间。空气净化的主要目的就是除去空气中悬浮的尘埃微粒，从而创造一个干净的工作环境，以保证制备出高质量的产品。空气净化的程度取决于全过程和全方位的控制管理，因此做好其清洁管理和维护保养工作是非常必要的。同时唯有持续做好这方面的工作，使其保持良好的环境和功能，才能发挥其作用价值，制备出高品质的产品，从而为高校的科研工作提供坚实的基础。

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Environment Maintenance and Management of Cleaning Room for Micro-nano Fabrication

GUO Dangwei, FENG Juanjuan

(Key Laboratory for Magnetism and Magnetic Materials of the Ministry of Education, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China)

With the development of modern science and technology, more and more scientific research need to keep combined with practical application. Therefore, there are more and more cleaning rooms built for micro-nano fabrication in universities. Furthermore, it is necessary to formulate the operational regulations and management. In this article, it is discussed that how to make it operate normally and safely by the three aspects of environmental control, operational specification and personal management. Sequentially, it ensures the quality of samples and guarantees for scientific research in colleges and universities.

university; cleaning room; maintenance; management

2014-03-04

国家自然科学基金资助项目(51202102)。

郭党委(1982-)，男，博士，工程师，主要从事实验教学管理和微纳米刻蚀过程研究工作。

G482

A

10.3969/j.issn.1672-4550.2015.01.056