氩气的纯化方法及纯化装置

申请(专利)号:201310183012.8

公开(公告)日:2014-02-12

申请(专利权)人:住友精化株式会社

本发明利用紧凑、简单且低成本的设备，无需很大的纯化能量就能有效且高效地减少氩气中的杂质含有率。氩气至少含有氢、一氧化碳、氮、氧作为杂质，最初含有的氧量比与最初含有的全部的氢和一氧化碳反应所需的化学计算量多。使最初含有的氢和一氧化碳与最初含有的氧反应。接着，添加少于与氩气中的全部残留氧反应所需的化学计算量的氢，使添加的氢与氩气中的残留氧反应。接着，通过冷却来减少氩气的含水量，通过脱水操作来减少氩气的水分含有率。然后，通过变压吸附法使残留在氩气中的至少是二氧化碳、氮、氧吸附于吸附剂，该吸附剂包含活性氧化铝、沸石类吸附剂、碳分子筛。