一种基于MEMS技术的数字式可调光衰减器的实现

2011-12-31 00:00:00尹邦政朱静

科技资讯 2011年19期

　　摘要:研制了一种基于微电机系统(MEMS)技术的数字式可调光衰减器(V

科技资讯2011年19期

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