平行俄歇电子分析仪

(2011-021-英国-016)

俄歇电子能谱法(AES)是一种了解固体原子层面特性的方法,这一方法对开发许多最先进的电子设备至关重要,已经成功应用于从气相化学到纳米结构特性的广泛领域。但是,当前AES硬件不仅体积庞大,而且造价昂贵、速度慢,还需要超高真空环境才能成功进行分析。这些缺点限制了它在电子显微领域的大规模应用，可是另一方面，市场需求很大。为克服这一缺点，研究人员努力开发快速钻孔机电子探测器以适应电子显微环境。由约克大学开发的分析仪基于最新突破性设计，克服上述缺点，可以在不到一秒钟内捕捉完整的俄歇频谱。

优点：

1、捕捉到完整的俄歇频谱不超过一秒钟。

2、高能方法。

3、高敏感性。

4、可以改进适合现有的电子显微镜。

5、不需要超高真空。

应用范围：

1、纳米设备和结构的定量元素分析。

2、半导体产业---“杀人粒子”评估。

技术成熟度：实验室成果

外方提议合作方式：技术转让