Crossing Automation获得四项关键半导体生产自动化专利

Crossing Automation公司(www.crossinginc.com)，一个为半导体设备制造商提供灵活、低成本和有效的前段及后段制造程序自动化解决方案及工程服务领域的领先供应商日前宣布，该公司已经获得四项新专利。这些专利涉及晶圆生产设备前端的Loaport(晶圆装载端口)，晶圆输送机器手臂和晶圆输送机器手臂的终端操作器，进一步拓展了Crossing在晶圆输送环节自动化技术领域的领先地位。

这些重要专利为Crossing的Express ConnectTM产品系列增添了新的功能，并将被Crossing主要的半导体生产设备市场采用。展望未来，Crossing已经开始把这些专利应用于其它市场的生产设备，包括发光二极管(LED)和光伏(PV)等绿色技术以及生命科学领域。

下列关于这些新授予专利的简要介绍显示出了Crossing作为半导体及相关行业解决方案战略供应商的地位：

Wafer EngineTM(晶圆机器手臂)专利号：7648327

这项专利涉及Crossing's Wafer EngineTM(晶圆机器手臂)。这是一个高速和高效率的晶圆输送机器手臂。它用于设备前端工序,能服务2～6个或更多的装载端口。Wafer EngineTM采用了一种经过现场验证、占地少、质量轻的折叠型垂直移动轴，以及一个可执行高速双晶圆交换的双滑动线性机器手臂装置。该专利还描述了在机器手臂滑动体上配置晶圆对准和环境调节装置的功能。Wafer Engine?是Crossing的ExpressConnect系统中的一个重要子系统，同时也是目前被众多300mm半导体晶圆厂采用的SpartanTMEFEM and Sorter(设备前端和晶圆分拣机)产品系列取得成功的主要原因之一。

Variable Lot Size LoadportTM(可变批量设备前端工序晶圆装载端口)，专利号：7585144和 7597523

这项专利涉及一种符合BOLTS标准的晶圆装载端口。该装载端口配备了一个可垂直索引的容器支承装置和一个可控的环境屏蔽罩。这些功能有助于实现晶圆处理设备的装载端口与不同容量和/或构造的晶圆容器之间灵活的接口连接。也适用于不同规格的前开式晶圆盒(FOUP)，简化其运输器和处理设备之间的交接和兼容。

Ultra Low Contact Area End-EffectorTM(超小面积接触的机器手臂的终端操作器)，专利号：7669903

这项专利适用于一种机器手臂的终端操作，支承与处理半导体晶圆或其他薄面基板的方法。它能够最大限度地减低晶圆背面与机器手支承/夹持表面之间的关键接触处粒子的产生和/或转移。此外，这种终端操作器上的支承部件能够适应可能因表面应力或重力而造成变形的非平面晶圆。此支承部件的晶圆接触单元还可以在无需移除或调整终端操作器的情况下进行处理或替换。

CROSSING AUTOMATION简介

Crossing Automation是一家为半导体设备制造商提供灵活、低成本和有效的前段及后段制造程序自动化解决方案及工程服务领域的领先供应商。该公司独有的自动化解决方案使其客户能够缩短产品上市时间、降低开发成本，并减少生产总成本。通过其前段及后段制造过程自动化解决方案，Crossing为设备制造商和集成电路制造商提供了极大的生产灵活性。