影响大电流热阴极辉光放电稳定工作的因素
2006-04-29 00:44白亦真吕宪义金曾孙姜志刚
吉林大学学报（理学版） 2006年1期
关键词：稳定性
白亦真 吕宪义 金曾孙 姜志刚
摘要：大电流热阴极辉光放电用于等离子体化学气相沉积金刚石膜，有效地提高了沉积速率和膜品质。大电流辉光放电具有较强的向弧光放电转化趋势，本文研究了影响大电流热阴极辉光放电稳定工作的因素，结果表明，阴极温度、表面形貌、阴阳极位置和尺寸配置关系等对辉光放电的稳定性均有不同程度的影响。
关键词：热阴极；辉光放电；稳定性
中图分类号：O461
文献标示码：A
文章编号：1671—5489(2006)01-0089-04
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